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Sensofar共聚焦白光干涉儀|對(duì)粗糙度和薄膜厚度的測(cè)量

2024-07-04 09:32:40

眾所周知,光學(xué)應(yīng)用是***個(gè)具有挑戰(zhàn)性的應(yīng)用:樣品非常光滑、平坦,有時(shí)是透明的。只有高端輪廓儀才能對(duì)其進(jìn)行成像,并滿足該領(lǐng)域的嚴(yán)格要求。我們對(duì)透鏡和濾光片的經(jīng)驗(yàn)在于器件粗糙度、微透鏡陣列和薄膜厚度的測(cè)量。

White Paper Super Smooth Surfaces

微透鏡陣列

球面透鏡

球面透鏡具有更簡(jiǎn)單的設(shè)計(jì)和更低的制造成本,應(yīng)用范圍廣泛。

 

可以分析尺寸和Sa、Sq和Sz粗糙度參數(shù)。

非球面透鏡

以其較小的像差而著稱,非球面透鏡適用于光學(xué)設(shè)計(jì),有極少的元件會(huì)尋求更好的性能。

 

可以分析曲率半徑,尺寸和10個(gè)非球面變形系數(shù)以及Sa、Sq和Sz粗糙度參數(shù)。

Array of microlenses_Spheric

Array of microlenses_Aspheric

相機(jī)鏡頭

可以在我們的軟件SensoVIEW中執(zhí)行量測(cè)區(qū)域的體積計(jì)算。

Optics camera lenses topo

 

SensoVIEW分析軟件對(duì)不同尺寸的孔具有非常高的靈敏度(該樣品的d=2mm)。

多邊形透鏡

六邊形微透鏡是透鏡微陣列中使用的典型幾何結(jié)構(gòu),它們因其高密度而引人注目。

 

Optics polygonal lenses topo


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