MF-200C INHA氣體質(zhì)量流量控制器
價 格：詢價
產(chǎn) 地：山西更新時間：2020-11-03 13:57
品 牌：山西仁荷型 號：MF-200C
狀 態(tài)：正常點擊量：1028
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INHA質(zhì)量流量控制器可測量腐蝕性氣體，結(jié)構(gòu)緊湊，重復(fù)性高，響應(yīng)時間快，性價比高，可廣泛用于設(shè)備配套。
自主開發(fā)研制的產(chǎn)品質(zhì)量流量計，是***種先進的智能精密質(zhì)量流量測量儀表。該流量計可直接用來測量管道中介質(zhì)的質(zhì)量流量及總量、體積流量及總量、介質(zhì)的密度、溫度、溶液的濃度以及較均勻混合的兩種液體各自的濃度等參數(shù)。 該流量計即使在惡劣的工作環(huán)境下也能表現(xiàn)出優(yōu)異的性能。其內(nèi)部沒有活動部件，不需復(fù)雜的安裝，對工況條件也沒有苛刻的要求。具有抗干擾能力強，測量精度高、量程比大、工作穩(wěn)定可靠、對安裝要求低、對流體狀態(tài)要求低，壓力損失小等優(yōu)點，且易清洗、具備自排空功能；適用于實時在線測量和實時在線監(jiān)控。其基本技術(shù)指標(biāo)已達到***際先進水平，具有非常廣闊的發(fā)展及應(yīng)用前景。 每臺傳感器都由不銹鋼材料制造，變送器的多種輸出能滿足您的各種需要。
產(chǎn)品參數(shù)
用途和特點
氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）在石化工業(yè)、生化、半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、醫(yī)藥、蔬果保鮮、加氣飲料、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型的場合包括：電子工藝設(shè)備，如：氧化、CVD、MOCVD、擴散、外延、等離子刻蝕、離子注入、濺射、以及微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、真空鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、氣相色譜儀及其他分析儀器。
主要技術(shù)指標(biāo)
編號 | 項目 | MF-200C | MF-200M |
1 | 流量規(guī)格（N2） | 10sccm～30slpm |
2 | 準(zhǔn)確度 | ±1％F.S(Full Scale) |
3 | 重復(fù)精度 | ±0.25％F.S（Full Scale） |
4 | 響應(yīng)時間 | ≤2sec（特別要求時：≤1sec） |
5 | 耐壓 | ≤90bar |
6 | 工作環(huán)境溫度 | 0℃～50℃ |
7 | 輸入輸出信號 | 0～5V | 0～5V or 4～20mA |
8 | 供電 | +15Vdc or +24Vdc 350mA |
9 | 漏率 | 1×10atm.cc/sec |
10 | 使用范圍 | 2～100％滿量程 |
結(jié)構(gòu)
氣體質(zhì)量流量計由流量傳感器（Sensor），分流器通道和流量放大電路等部件組成；在氣體質(zhì)量流量計的基礎(chǔ)上，再加上調(diào)節(jié)閥門和PID控制電路就構(gòu)成了氣體質(zhì)量流量控制器。
滬公網(wǎng)安備31011502016460號
