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無論是科研還是工業(yè)生產(chǎn)，M-2000都可以滿足您的需求，多樣的配置選項滿足不同用戶的要求。旋轉(zhuǎn)補償專利技術(shù)保證Delta的準(zhǔn)確測量，CCD列陣的使用使全光譜掃描可在幾秒中內(nèi)完成。

可選光譜范圍：

V型 370－1000nm
U型 245－1000nm
D型 193－1000nm
紅外擴(kuò)展 1000－1700nm

可選變角：

手動連續(xù)可變

自動連續(xù)可變

特殊微光斑選件：

25×60微米

M-2000 光譜型橢偏儀
無論是科研還是工業(yè)生產(chǎn)，M-2000都可以滿足您的需求，多樣的配置選項滿足不同用戶的要求。旋轉(zhuǎn)補償專利技術(shù)保證Delta的準(zhǔn)確測量，CCD列陣的使用使全光譜掃描可在幾秒中內(nèi)完成。
Alpha-SE 光譜型橢偏儀
α-SE是一款高性價比的光譜型橢偏儀。簡約設(shè)計，理想的薄膜分析工具。計算機(jī)通過USB口控制儀器、數(shù)據(jù)采集。配置易用的數(shù)據(jù)分析軟件 易于使用 帶有高級選項的按鈕式操作 軟件技術(shù)先進(jìn) 基于旋轉(zhuǎn)補償專利技術(shù) 高速測量 十秒內(nèi)完成180個波長的測量及數(shù)據(jù)的擬合 功能強(qiáng) 提供厚度、光學(xué)常數(shù)、表面粗糙、界面層等 各種數(shù)據(jù) 應(yīng)用范圍 適用于各類可見光譜段薄膜的研究及日常工藝控制
V-VASE 光譜型橢偏儀
V-VASE是一款經(jīng)典的自動可變角，單色儀分光的光譜橢偏儀。可應(yīng)用于半導(dǎo)體、電介質(zhì)、聚合物、金屬、等各類薄膜的研究和分析。自動相位延遲技術(shù)保證了測量準(zhǔn)確性，精湛的工藝保證了測試重復(fù)性。具有靈活多變測試功能的V-VASE可用于各類研究中。
IR-VASE 光譜型橢偏儀
IR-VASE可應(yīng)用于紅外材料光學(xué)特性的測量及分析，IR-VASE在半導(dǎo)體上可應(yīng)用于摻雜濃度的測量。超寬光譜適合各種紅外材料，旋轉(zhuǎn)補償技術(shù)保證測試數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性。IR-VASE是紅外橢偏儀中的頂尖產(chǎn)品。
VUV-VASE 光譜型橢偏儀
UVV-VASE是一款真空紫外橢偏儀，通常用來測量及研究薄膜的紫外光學(xué)特性，如光刻膠等。
T-solar 光譜型橢偏儀
T-Solar是為光伏行業(yè)量身定制的一款光譜橢偏儀，無論是硅電池（絨面）還是薄膜電池，都可以用T-Solar來測量。T-Solar基于M-2000，是M-2000的一個特殊配置版。