光學NanoGauge C10178-02
價 格：詢價
產 地：更新時間：2020-12-15 10:28
品 牌：其他型 號： C10178-02
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產品介紹
詳細參數
| 型號 | C10178-02 |
| 可測膜厚范圍（玻璃） | 20 nm to 30 μm*1 |
| 測量可重復性（玻璃） | 0.02 nm*2 *3 |
| 測量準確性（玻璃） | ±0.4 %*3 *4 |
| 光源 | D2-Halogen light source |
| 光斑尺寸 | Approx. φ1 mm*3 |
| 工作距離 | 10 mm*3 |
| 可測層數 | Max. 10 layers |
| 分析 | FFT analysis, Fitting analysis, Optical constant analysis |
| 測量時間 | 19 ms/point*5 |
| 光纖連接頭 | φ12 sleeve shape |
| 外部控制功能 | RS-232C, PIPE, Ethernet |
| 電源 | AC100 V to AC240 V, 50 Hz/60 Hz |
| 功耗 | Approx. 210 VA |
| 測量波長范圍 | 200 nm to 950 nm |
| 接口 | USB 2.0 |
| 測量模式（特征） | supports UV |
*1 轉換時玻璃的折射率是1.5
*2 測量400 nm玻璃薄膜厚度時為標準偏差（公差）
*3 取決于光學系統或物鏡放大倍數
*4 測量保證范圍同VLSI標準測量保證文件***致
*5 ***短曝光時間
產品特性
● 高速、高準確性（可測膜厚范圍（玻璃）：20 nm-30μm）
● 實時測量
● 非恒定膜層的精確測量
● 分析光學常量(n, k)
● 可外部控制
● 可以使用特定附件測量量子產率，反射率，透射率和吸收率
外形尺寸（單位：mm）
產品優勢
C10178型光學納米膜厚測量系統是***款利用光譜干涉法測量薄膜厚度的非接觸式測量系統。光譜干涉法可以快速、高精度以及高靈敏度地測量出薄膜厚度。濱松的產品使用多通道光譜儀PMA作為檢測器，測量各種光學濾光片和涂膜厚度的同時還可以測量量子產率，反射率，透射/吸收率等參數。
C10178-02支持UV（200 nm至950 nm）。
滬公網安備31011502016460號
