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光學NanoGauge C12562-04 

詳細參數

*1 轉換時玻璃的折射率是1.5 

*2 測量400 nm玻璃薄膜厚度時為標準偏差（公差） 

*3 取決于光學系統或物鏡放大倍數 

*4 測量保證范圍同VLSI標準測量保證文件***致 

*5 ***短曝光時間

產品特性

● 測量范圍從薄膜厚度到總厚度 

● 縮短循環時間（***大100 Hz） 

● 外部觸發器增強（適用于高速測量） 

● 系統中新增簡化測量法

● 可進行表面分析 

● 非恒定膜層的精確測量 

● 分析光學常數（n, k） 

● 可外部控制

外形尺寸（單位：mm）

• 產品優勢

• 
  

  C12562型光學納米膜厚測量系統是***款小型緊湊、節省空間、安裝方便的非接觸式薄膜厚測量系統。在半導體工業中，硅通孔技術的普及使得硅厚度測量變得必不可少；在薄膜生產工業中，越來越高的產品需求使得粘合層薄膜的制作朝著越來越薄的方向發展。因此，這些工業領域需要更高精度、測量范圍可以覆蓋1μm到300μm的厚度測量系統。C12562可以對厚度范圍從0.5μm到300μm的薄膜進行精確測量，包括薄膜鍍層厚度和薄膜襯底厚度以及總厚度。C12562可以進行高達100 Hz的快速測量，因此非常適合高速生產線測量。