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產(chǎn)  地:更新時間:2021-01-18 11:54

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聲波掃描顯微鏡被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體以及集成電路的制造和封裝測試行業(yè),是***種理想的無損檢測儀器,能夠有效地檢測器件或材料內(nèi)部的開裂、氣泡、雜質(zhì)、斷層等缺陷。
其主要工作原理是,通過壓電陶瓷將電信號轉(zhuǎn)換成超聲波(>20KHz),用超聲波對樣品內(nèi)部進(jìn)行高精度地掃描,根據(jù)超聲波在不同密度材料中的傳播速度和反射系數(shù)的差異,獲得樣品內(nèi)部不同區(qū)域的超聲波透射或反射,再經(jīng)由軟件算法處理和成像。SAM的核心構(gòu)成為,電氣部件、機械裝置、聲學(xué)部件、軟件系統(tǒng)。

 


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