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        納米圖形發(fā)生器

        價(jià)  格:詢價(jià)

        產(chǎn)  地:更新時(shí)間:2021-01-18 15:24

        品  牌:型  號:

        狀  態(tài):正常點(diǎn)擊量:2606

        400-006-7520
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        上海非利加實(shí)業(yè)有限公司

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         經(jīng)中***科學(xué)院電工研究所電子束曝光技術(shù)研究組幾十年不斷努力和探索,特別是攻克了圖形發(fā)生器定位工件臺等關(guān)鍵技術(shù)后,為各位從事微、納米技術(shù)研究的專***提供了既具有微、納米圖形分辨率,系統(tǒng)簡單又價(jià)格低廉的電子束曝光系統(tǒng)。

         電子束曝光系統(tǒng)=DY-2000A)納米通用圖形發(fā)生器+SEM

        基于DY-2000A納米通用圖形發(fā)生器:

        其基本結(jié)構(gòu)如下:

        1、(DY-2000A)圖形發(fā)生器+ SEM(掃描電鏡)

         

        機(jī)型***

         

        DY-2000A圖形發(fā)生器+SEM

         

        特點(diǎn):

        1DY-2000A圖形發(fā)生器+SEM組建成電子束曝光系統(tǒng)使用原SEM工作臺。

        2、無須改動電子顯微鏡,保留顯微鏡的全部功能,單場制作各種微納結(jié)構(gòu)圖形和套刻工作

         

         

        機(jī)型二

         

        DY-2000A圖形發(fā)生器+SEM+光柵工件臺

         

        特點(diǎn):

        1、(DY-2000A圖形發(fā)生器+SEM組建成電子束曝光系統(tǒng))使用精密光柵工件臺

        2、無須改動電子顯微鏡,保留顯微鏡的全部功能,多場制作各種微納結(jié)構(gòu)圖形拼接和套刻工作

         



        DY-2000A納米通用圖形發(fā)生器的硬件特點(diǎn)

         

        1.   高精度標(biāo)記圖形數(shù)據(jù)采集器

        2.   、快速的SCSI接口

        3.   掃描頻率大于10 MHZ,傳輸數(shù)率不低于300MB/S。 高速數(shù)字信號處理器(DSP

        4.   用于XY方向電子束偏轉(zhuǎn)的兩套16位高速數(shù)模轉(zhuǎn)換和控制系統(tǒng)

        5.   12 位高性能,小溫漂的ADC圖形采集系統(tǒng),信噪比高。

        6.   采用高性能的微處理器,信號處理能力優(yōu)于30M,支撐高效,高分辨的曝光結(jié)果。

        7.   采用恒溫抗干擾機(jī)箱,減少干擾,穩(wěn)定性大大優(yōu)于集成設(shè)備。

        8.   配有5.6LED顯示屏,可實(shí)時(shí)、直觀的顯示曝光進(jìn)程。

        9.   帶有匹配的束閘輸入接口。

        10. 配有適配器,使電鏡,能譜,曝光互聯(lián)和轉(zhuǎn)接互不干擾。

        11. 配有22寸液晶顯示器和PC圖形控制系統(tǒng)***套。束閘控制:點(diǎn)控、線控、區(qū)域控制等

                      

        五.DY-2000A納米通用圖形發(fā)生器的軟件功能:

        1.    基于Windows中文操作系統(tǒng)的EBL應(yīng)用軟件,具有強(qiáng)大的圖形編輯,界面簡潔,容易操作,兼具讀寫及轉(zhuǎn)換及圖形導(dǎo)入等功能。

        2.    具有遠(yuǎn)程控制SEM/FIB/STEM的功能。

        3.    可實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)格式為DXF、CIF、ASCII等圖形的讀入和轉(zhuǎn)換。

        4.    具有圖像縮放和重疊功能,同時(shí)可實(shí)現(xiàn)快速圖像采集,同步等等。

        5.    可實(shí)現(xiàn)位移,旋轉(zhuǎn),增益矯正刻寫場,提升曝光結(jié)果的分辨率。

        6.    具有標(biāo)記檢測和位置修正,用于拼接和套刻對準(zhǔn)。

        7.    具有曝光、工件臺移動和束閘通斷等功能控制。

        8.    具有點(diǎn)控、線控、區(qū)域及非特征圖形的控制。

         



        產(chǎn)品參數(shù)


        產(chǎn)品介紹



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