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美國SONIX 晶圓檢測設備

價  格:詢價

產  地:更新時間:2021-01-18 19:08

品  牌:型  號:AutoWafe Pro.

狀  態:正常點擊量:2449

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美***SONIX 晶圓檢測設備 AutoWafe Pro.

 

SONIX AutoWafer Pro™ 是專為全自動晶圓檢測設計的機型,主要應用在Bond wafer,MEMS 內部空洞、離層檢測,TSV量測方面。

● 使用于200和300mm晶圓
● 符合******凈化間標準
● Cassette裝載,全自動檢測,支持FOUP或FOSB機械臂
● 支持200mm & 300mm SECS/GEM協議
● KLARF輸出文件

AutoWafe Pro, SONIX wafer detection device.

 

SONIX AutoWafer Pro™ is designed for fully automatic wafer detection, mainly for Bond wafer, MEMS internal cavity detection, separation detection, and TSV measurement.

 

● for 200 mm and 300mm wafers

● comply with the standard of first class purification room

Cassette loaded, fully automatic detection, support for FOUP or FOSB manipulator

● support 200mm & 300mm SECS/GEM protocol

 

● KLARF output file


產品參數


產品介紹



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