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技術(shù)參數(shù)

UL1000氦質(zhì)譜檢漏儀的詳細(xì)資料：

INFICON UL1000 型氦檢漏儀尤其適用于元件精確檢漏的要求，靈活性測試，高靈敏度，快速于精確的結(jié)果，快速啟動，移動性和系統(tǒng)的可靠性。

UL1000符合做微電子工業(yè)市場的要求。其特點(diǎn)從堅固的金屬外殼并帶有適用于潔凈室的輪子，還有I-CAL（智能化漏率計算系統(tǒng)）,無與倫比的 噪聲抑制濾波，柔性均值算法和漂移抑制功能。用于消除在10-11至10-12超高靈敏漏率范圍中長時間平衡的程序。

系統(tǒng)軟件包含帶有故障查找指令的先進(jìn)自診斷程序。并可調(diào)用防止氦氣或工藝氣體污染的保護(hù)性功能。UL1000的通風(fēng)系統(tǒng)不會干擾通常清潔室中從天花板至地面的空氣流動。渦輪分子泵的抽速和壓縮比可降低并消除氦污染。

UL1000具有可轉(zhuǎn)動的控制界面，裝在儀器商的顯示器用十分清楚的大型字體顯示測量結(jié)果于狀態(tài)信息，這樣可遠(yuǎn)距離方便地觀察讀值。

應(yīng)用：

半導(dǎo)體工藝設(shè)備的維護(hù)，該設(shè)備本身帶或未帶有真空泵

工藝氣體系統(tǒng)的檢測與安裝

元器件在組裝前的漏率測試

要求高抽速、高靈敏度以及清潔測試條件的應(yīng)用場合