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1.    濺射真空室組件1套,球型真空室尺寸Ф300mm，選用真空專用

304#不銹鋼材料制造氬弧焊接，表面進行噴玻璃丸處理。各法

蘭口按超高真空系統設計，采用金屬密封。

2.    采用***套600L/S分子泵+4L/S機械泵通過CF150超高真空閘

板閥進行主抽，通過CF35角閥旁抽。

3.    封接觀察窗2個， Ф100石英玻璃窗口1個(248nm紫外波段，

供激光入射用的)

4.   電磁隔斷放氣閥：（北京）KF40  1臺。

5.   分子泵與機械泵連接金屬波紋管  1套； 機械泵與真空室之間的

旁抽金屬波紋管管路及CF35角閥1套。

6.   CF150閘板閥：用于分子泵與真空室隔離。

7.   真空測量及電控系統1套，ZDF數顯復合超高真空計（全部采

用金屬規管）                 1臺 。

8.   總控電源：為機械泵、真空計等提供電源，有斷電斷水缺相保護

功能1套。

9.   機架：優質方鋼型材（40mm×40mm×3），焊接成，，四只腳

輪，可固定，可移動。

10. 附件相關規格的金屬密封銅圈，氟橡膠密封圈全套不銹鋼緊固螺

栓、螺母、墊片等；全套無氧銅密封墊圈（相關規格）CF16：3

個；CF35：3個；CF150：2個；CF100:4個；

11.相關的技術資料各類外購件使用說明書：設備結構原理圖及關鍵部件結

構圖（1套）電控系統原理結構圖（1套）裝箱單（1套）設備出廠合

格檢驗證明（1套

11. 工作條件及主要技術參數：供電：～380V三相五線供電系統（容量

5KW）。相對濕度；≤80。